-
[1]
. Kitayama, Itoga K. J. Vac. Sci. Technol., 2000, B18(6):2950—29542. Khan M, Han G, Tsvid G et al. J. Vac. Sci. Technol., 2001,B19(6): 2423—24273. Toyota E, Hori T, Khan M et al. J. Vac. Sci. Technol., 2001,B19(6): 2428—24334. Selzer R(B), Heaton J. Microelectronic Engineering, 2000,53: 591—5945. Marumoto K, Yabe H, Aya S. J. Vac. Sci. Technol., 2003,B21(1): 207—2136. CHEN Da-Peng, YE Tian-Chun, XIE Chang-Qing et al.Semiconductors, 2001, 22(12): 1529—1531(in Chinese)(陈大鹏，叶甜春，谢常青等.半导体学报，2001, 22(12):1529-1531)