-
[1]
. Elizarov L I et al. Rev. Sci. Instr., 2006, 77: 03A3272. Ivanow A, Wiesemann K. IEEE Transact. Plasma Sci.,2005, 33: 17433. Private Communication with A. A. Ivanov and K. Wiesemann, Februari 20064. Drentje A G. Rev. Sci. Instrum., 2003, 74: 26315. Melin G et al. J. Appl. Phys., 1999, 86: 47726. Kawai Y et al. Plasma Sources Sci. Techn., 2001, 10: 4517. Becker R. Rev. Sci. Instrum., 2002, 73: 6938. Drentje G. Rev. Sci. Instrum., 1992, 63: 28759. Drentje G et al. Rev. Sci. Instrum., 1996, 67: 95310. Tarvainen et al. Rev. Sci. Instr., 2006, 77: 03A309